????本報(bào)記者 李勇

????3月5日晚間，沈陽芯源微電子設(shè)備股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱“芯源微”，688037）披露的公告顯示，公司擬籌劃控制權(quán)變更事項(xiàng)，公司股票自2025年3月6日起停牌，預(yù)計(jì)停牌時(shí)間不超過2個(gè)交易日。????

????芯源微成立于2002年，是由中科院沈陽自動(dòng)化研究所發(fā)起創(chuàng)立的國(guó)家級(jí)高新技術(shù)企業(yè)，專業(yè)從事半導(dǎo)體專用設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。

????歷經(jīng)20余年的發(fā)展，芯源微目前已形成了前道涂膠顯影設(shè)備、前道清洗設(shè)備、后道先進(jìn)封裝設(shè)備、化合物等小尺寸設(shè)備四大業(yè)務(wù)板塊，產(chǎn)品覆蓋前道晶圓加工、后道先進(jìn)封裝、化合物半導(dǎo)體等多個(gè)領(lǐng)域。

????涂膠顯影機(jī)是芯片制造過程中唯一與光刻機(jī)聯(lián)機(jī)作業(yè)的核心設(shè)備。作為國(guó)內(nèi)唯一可以提供量產(chǎn)型前道涂膠顯影機(jī)的廠商，芯源微在光刻工藝膠膜均勻涂敷技術(shù)、精細(xì)化顯影技術(shù)、高產(chǎn)能設(shè)備架構(gòu)及機(jī)械手優(yōu)化調(diào)度技術(shù)、內(nèi)部微環(huán)境精確控制技術(shù)等多項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)上已達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，現(xiàn)已成功推出offline、I-line、KrF及ArF浸沒式等多種型號(hào)設(shè)備。

????值得關(guān)注的是，長(zhǎng)期以來，芯源微一直處于無實(shí)際控制人狀態(tài)。2019年登陸資本市場(chǎng)后，公司原第一大股東沈陽先進(jìn)制造技術(shù)產(chǎn)業(yè)有限公司（以下簡(jiǎn)稱“先進(jìn)制造”）曾多次通過詢價(jià)轉(zhuǎn)讓的方式轉(zhuǎn)讓其所持有的芯源微股權(quán)，并在2024年1月份失去第一大股東地位。當(dāng)前，芯源微前三大股東分別為遼寧科發(fā)實(shí)業(yè)有限公司、先進(jìn)制造和沈陽中科天盛自動(dòng)化技術(shù)有限公司，三個(gè)股東持股比例分別為10.61%、9.49%和8.41%。芯源微目前仍處于無實(shí)控人狀態(tài)。